초청강연( ), 구두(  ), 포스터(  )

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[1] 참고 문헌, 10pt 함초롬바탕

초청강연(  ), 구두( O ), 포스터(  )                                   작성 예

상호보정법에 의한 산화물 초박막 두께 측정

홍길동1, 강감찬2, 이순신3,*

1한국표준과학연구원, 2고구려대학교, 3한산대학교

1한국표준과학연구원 표면분석팀 (34113 대전시 유성구 가정로 267)

*sslee@hansan.ac.kr

HfO2 박막 두께측정에 대한 국제도량형위원회 물질량자문기구 표면분석분과 파일럿 연구가 수행되었다. 이번 국제공동연구에는 11개 국가표준기관 및 2개 일반 연구기관이 참여하였으며 엑스선광전자분광법(XPS), 엑스선회절법(XRR), 분광타원해석법(SE), 투과전자현미경(TEM), 엑스선형광분석법(XRF), 러더퍼드후방산란분광법(RBS) 및 중에너지이온산란분광법(MEIS)에 의해 측정되었다.

원자층증착법에 의해 성장된 명목두께 1~4 nm의 HfO2 박막의 두께는 비행시간형 에너지분석기를 가진 한국표준과학연구원의 중에너지이온산란분광기에 의해 측정되었다. 박막두께는 그림 1(a)와 같이 박막과 기판의 MEIS 세기 비율(IHf/ISi)로부터 결정되었다.

P-190에서 기준두께는 MEIS 두께와 보고된 XRR 평균 두께에 의한 상호보정법에 의해 결정되었으며 보고된 공동분석 결과는 그림 1(b)와 같이 기준두께에 대해 선형피팅하여 기울기와 오프셋을 비교하였다.

(a)	(b)
그림1. MEIS에 의한 HfO2 박막의 두께측정법(a)과 MEIS와 XRR에 의한 상호보정법에 의해 결정된 기준두께에 대한 P-190 결과의 선형피팅결과

[1] K. J. Kim, T. G. Kim, J-H. Kwon, H. Ruh, K. Park and W. J. Min, Metrologia 57 (2020) 025001

[2] K. J. Kim, et al., Metrologia 58 (2021) 08016