안녕하십니까?
4차 산업혁명에 의한 초지능, 초연결 사회가 진행됨에 따라 반도체 수요가 급격하게 증가하고
있으며
그 기반이 되는 반도체 및 디스플레이 등 첨단 산업의 발전이 국가 경제 발전의 핵심 축으로 자리매김하고 있습니다.
행사개요√ 일 시 : 2023년 5월 17일(수)
√ 장 소 : 한국반도체산업협회 회관 9층 교육장
√ 대 상 : 산업체-연구소 연구원, 대학(원)생
√ 주 최 : (사)한국표면분석학회
프로그램| 시 간 | 강연자 | 세부내용 | |
|---|---|---|---|
| 9:30 ~ 10:30 | 김형섭 교수(성균관대학교) | 신 반도체소자 개발 현황 및 핵심 분석 이슈 | |
| 10:40 ~ 11:40 | 김경중 박사(한국표준과학연구원) | 표면분석 기술의 반도체 산업 응용 | |
| 11:40 ~ 13:00 | 점심식사 | ||
| 13:00 ~ 14:00 | 박경수 교수(서울대학교) | 첨단 TEM 분석기술을 이용한 반도체 구조분석 | |
| 14:10 ~ 15:10 | 안재평 박사(한국과학기술연구원) | FIB의 원리 및 반도체 활용 기술 | |
| 15:10 ~ 15:30 | 커피브레이크 | ||
| 15:30 ~ 16:30 | 박윤백 수석(SK하이닉스) | 메모리 반도체에서의 Atom Probe Tomography의 역할과 응용 분석 기술 | |
| 16:40 ~ 17:40 | 박승주 PL(삼성전자) | 반도체산업의 표면분석 SIMS기술 및 응용 | |
강연요약| 강연자 | 세부내용 |
|---|---|
| 김형섭 교수(성균관대학교) |
최신 반도체소자 개발 현황 및 핵심 분석 이슈 - DRAM 소자의 기술적 발전 방향 및 분석 이슈 - NAND 소자의 기술적 발전 방향 및 분석 이슈 - 로직 소자의 기술적 발전 방향 및 분석 이슈 |
| 김경중 박사(한국표준과학연구원) |
표면분석 기술의 반도체 산업 응용 - 상호보정법을 이용한 산화물 초박막 두께측정 기술 - 다점교정법을 이용한 합금박막 조성분석 기술 - 고배율 현미경의 배율 및 오프셋 교정 기술 |
| 박경수 교수(서울대학교) |
첨단 TEM 분석기술을 이용한 반도체 구조분석 - 고분해능 STEM & iDPC imaging 기술을 이용한 반도체 재료의 원자레벨 구조분석 - Electron tomography 기술을 이용한 메모리 소자 구조의 3차원 해석 - In-situelectrical probing 기술을 이용한 차세대 메모리 소자의 구동 메커니즘 규명 - 고에너지 분해능 (monochromated) STEM-EELS 기술을 활용한 반도체 박막의 bandgap변화 측정 |
| 안재평 박사(한국과학기술연구원) |
FIB의 원리 및 반도체 활용 기술 - 구조 및 기본 원리 (전자와 이온의 유사성 및 차이점) - FIB의 7가지 주요 기능 및 활용 사례 - 전자현미경 내 저전류 측정 및 시편 준비 |
| 박윤백 수석(SK하이닉스) |
메모리 반도체에서의 Atom Probe Tomography의 역할과 응용 분석 기술 - International Technology Roadmap for Semiconductor (ITRS)소개 - 3D Fin-FET (FieldEffectTransistor)내 불순물 분포 분석 기술 (@APT) - 이종 연계 분석으로Floating Gate내 불순물 정량 분석 기술 (@SIMS/APT) - 이종 상보 분석으로Metal Contact Resistance차이 규명 분석 기술 (@TEM/APT) |
| 박승주 PL(삼성전자) |
반도체산업의 표면분석 SIMS기술 및 응용 - 반도체소자연구를 위한 SIMS 요소기술 및 분석의 한계점 - 반도체 SIMS분석의 기술트렌드 변화 및 발전 방향 - 반도체산업 발전에 따른 표면분석 전망 |
HYBRID 워크숍 안내√ 본 워크숍은 온ㆍ오프라인 동시에 진행됩니다.
√ 홈페이지에서 로그인 후 등록 완료 시 워크숍 동영상 시청이 가능합니다.
√ 수료증 및 영수증(거래명세서)은 워크숍 종료 후 E-mail로 개별 발송됩니다.
HYBRID 워크숍 등록 안내√ 홈페이지 : https://surfaceanalysis.kr/
√ 등록기한 : 2023년 5월 15일(월) 23:59 까지
등록비| 구분 | 정회원 | 비회원 | 정회원 가입 및 등록 | |
|---|---|---|---|---|
| 일 반 | 200,000원 | 250,000원 | 250,000원 | |
| 학 생 | 100,000원 | 130,000원 | 130,000원 | |
√ 결제 방법 : 신용카드 결제 또는 가상계좌 결제
√ 온라인 결제가 어려우신 분은 웹회원으로 가입하신 후 현장 결제 부탁드립니다.
√ 문의처 : (사)한국표면분석학회학회 사무국 042-864-2007 / kossa@surfaceanalysis.kr
√ 행사접수가 마감되었습니다.
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